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質(zhì)量流量控制器

氣體質(zhì)量流量控制器差壓式質(zhì)量流量控制器科里奧質(zhì)量流量計(jì) 流量控制器熱式流量控制器

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5910D4GRYLLS數(shù)字量氣體流量控制器

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GRYLLS數(shù)字量氣體流量控制器用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。它們?cè)诎雽?dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場(chǎng)合包括：電子工藝設(shè)備，如擴(kuò)散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；
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5930D4GRYLLS差壓式液體流量控制器

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GRYLLS-6610差壓式質(zhì)量流量控制器

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Grylls6600差壓式質(zhì)量流量控制器沒(méi)有附加的“比熱容“誤差。所以，即使測(cè)量氣體與出廠(chǎng)時(shí)的標(biāo)定氣體不同，也不會(huì)影響測(cè)量精度。
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GRYLLS 6620差壓式質(zhì)量流量控制器

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GRYLLS 6620差壓式質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特色：多氣體系數(shù)切換V2.0 氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)提供多種預(yù)置的氣體系數(shù)轉(zhuǎn)換：完整列表見(jiàn)操作手冊(cè)附錄。如果您需要的氣體介質(zhì)表列中沒(méi)有，請(qǐng)聯(lián)系我們。我們還可以校準(zhǔn)各種復(fù)雜的氣體混合物。
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差壓質(zhì)量流量控制器

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Grylls6600差壓式質(zhì)量流量控制器

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Grylls6600差壓式質(zhì)量流量控制器

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Grylls6600系列差壓式質(zhì)量流量控制器采用無(wú)熱漂移，無(wú)響應(yīng)滯后的差壓質(zhì)量測(cè)量原理，無(wú)熱漂移，可以忽略的溫移和時(shí)漂，長(zhǎng)期穩(wěn)定性0.1%F.S/年，準(zhǔn)確度1.0%，量程可在100：1范圍內(nèi)按鍵設(shè)定，無(wú)需標(biāo)定。
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GRYLLS-6600差壓式質(zhì)量流量控制器

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型號(hào)：GRYLLS-6600

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GRYLLS-6600差壓式質(zhì)量流量控制器采用無(wú)熱漂移，無(wú)響應(yīng)滯后的差壓質(zhì)量測(cè)量原理，可以同時(shí)顯示和輸出：瞬時(shí) 流量、累計(jì)流量、壓力、溫度等。當(dāng)需要控制功能時(shí)，還可以加裝電磁比例調(diào)節(jié)閥和內(nèi)置PID 調(diào)節(jié)功能。與熱式流量計(jì)不同，當(dāng)使用氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)時(shí)，GRYLLS-6600質(zhì)量流量控制器沒(méi)有附加的“比熱容”誤差。所以，即使測(cè)量氣體與出廠(chǎng)時(shí)的標(biāo)定氣體不同，也不會(huì)影響測(cè)量精度。
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